Η διαδικασία ψεκασμού εξατμίζει ένα αρχικό υλικό, που ονομάζεται στόχος, για να εναποθέσει μια λεπτή, υψηλής απόδοσης μεμβράνη σε προϊόντα όπως ημιαγωγοί, γυαλί και οθόνες. Η σύνθεση του στόχου καθορίζει άμεσα τις ιδιότητες της επίστρωσης, καθιστώντας την επιλογή υλικού κρίσιμη.
Χρησιμοποιείται ένα ευρύ φάσμα μετάλλων, καθένα από τα οποία επιλέγεται για συγκεκριμένα λειτουργικά πλεονεκτήματα:
Μέταλλα θεμελίωσης για ηλεκτρονικά και ενδιάμεσα στρώματα
Ο χαλκός υψηλής καθαρότητας εκτιμάται για την εξαιρετική ηλεκτρική του αγωγιμότητα. Οι στόχοι καθαρού χαλκού 99,9995% είναι απαραίτητοι για τη δημιουργία μικροσκοπικών καλωδιώσεων (διασυνδέσεων) μέσα σε προηγμένα μικροτσίπ, όπου η ελάχιστη ηλεκτρική αντίσταση είναι ύψιστης σημασίας για την ταχύτητα και την αποτελεσματικότητα.
Το νικέλιο υψηλής καθαρότητας χρησιμεύει ως ένα ευέλικτο εργαλείο. Χρησιμοποιείται κυρίως ως ένα εξαιρετικό στρώμα πρόσφυσης και ένα αξιόπιστο φράγμα διάχυσης, αποτρέποντας την ανάμειξη διαφορετικών υλικών και διασφαλίζοντας τη δομική ακεραιότητα και τη μακροζωία των πολυστρωματικών συσκευών.
Τα πυρίμαχα μέταλλα όπως το βολφράμιο (W) και το μολυβδαίνιο (Mo) εκτιμώνται για την υψηλή αντοχή τους στη θερμότητα και τη σταθερότητά τους, και χρησιμοποιούνται συχνά ως ισχυρά φράγματα διάχυσης και για επαφές σε απαιτητικά περιβάλλοντα.
Εξειδικευμένα Λειτουργικά Μέταλλα
Το ασήμι υψηλής καθαρότητας προσφέρει την υψηλότερη ηλεκτρική και θερμική αγωγιμότητα από οποιοδήποτε μέταλλο. Αυτό το καθιστά ιδανικό για την εναπόθεση εξαιρετικά αγώγιμων, διαφανών ηλεκτροδίων σε οθόνες αφής και εξαιρετικά ανακλαστικών, χαμηλής εκπομπής επιστρώσεων σε παράθυρα εξοικονόμησης ενέργειας.
Πολύτιμα μέταλλα όπως ο χρυσός (Au) και η πλατίνα (Pt) χρησιμοποιούνται για εξαιρετικά αξιόπιστες, ανθεκτικές στη διάβρωση ηλεκτρικές επαφές και σε εξειδικευμένους αισθητήρες.
Τα μεταβατικά μέταλλα όπως το τιτάνιο (Ti) και το ταντάλιο (Ta) είναι ζωτικής σημασίας για την εξαιρετική πρόσφυση και τις ιδιότητες φραγμού τους, σχηματίζοντας συχνά το βασικό στρώμα σε ένα υπόστρωμα πριν από την εφαρμογή άλλων υλικών.
Ενώ αυτό το ποικίλο σύνολο υλικών επιτρέπει τη σύγχρονη τεχνολογία, η απόδοση του χαλκού για αγωγιμότητα, του νικελίου για αξιοπιστία και του αργύρου για εξαιρετική ανακλαστικότητα παραμένει απαράμιλλη στις αντίστοιχες εφαρμογές τους. Η σταθερή ποιότητα αυτών των μετάλλων υψηλής καθαρότητας αποτελεί το θεμέλιο των επιστρώσεων λεπτής μεμβράνης υψηλής απόδοσης.
Ώρα δημοσίευσης: 24 Νοεμβρίου 2025